简要描述：CMPro-P系列聚丙烯（PP）深层折叠滤芯是化学机械研磨（chemical mechanical polishing，CMP）液大颗粒和胶体去除的理想选择，尤其适用于氧化物、金属钨和金属铜CMP制程中所用的研磨液的过滤。
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| 品牌 | Membrane Solutions/迈博瑞 | 供货周期 | 现货 |
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CMPro-P系列聚丙烯（PP）深层折叠滤芯由折叠的多层渐变聚丙烯膜和聚丙烯骨架组成。CMPro-P系列聚丙烯（PP）深层折叠滤芯是化学机械研磨（chemical mechanical polishing，CMP）液大颗粒和胶体去除的理想选择，尤其适用于氧化物、金属钨和金属铜CMP制程中所用的研磨液的过滤。可有效去除slurry中的团聚颗粒和胶体杂质。此外，CMPro-P滤芯采用的宽幅深层折叠设计大幅度提高了过滤面积和纳污容量，使其具备超低的压损和更长的使用寿命。
宽幅深层折叠使其具备超低的压损和更长的使用寿命
较大的过滤面积，结合渐变的锥形孔结构，使剪切力最小化
渐变孔径实现分级过滤，拦截大颗粒并放行有效研磨颗粒
在洁净车间生产、测试和包装，确保产品洁净度
采用热熔焊接技术，确保无污染
| 材 料 | 过滤层/支撑层 | 聚丙烯 |
| 外壳/中心杆/端盖 | 聚丙烯 | |
| 密封圈 | EPDM | |
| 精 度 | 0.8μm, 1.0μm, 1.5μm, 3.0μm, 5.0μm, 10.0μm, 15.0μm | |
| 尺寸规格 | 外径 | 69mm |
| 长度 | 10inch, 20inch | |
| 最大使用条件 | 最大正向压差 | 0.52 MPa (75 psi) @ 25 ˚C (77 ˚F) 0.19 MPa (27 psi) @ 82 ˚C (179 ˚F) |
| 最大反向压差 | 0.21 MPa (30 psi) @ 25 ˚C (77 ˚F) | |
| 最高使用温度 | 80 ˚C (176 ˚F) | |
| 标称尺寸 | A | B | C |
| 10" | 263.0±2mm | 249.0±2mm | 239.5±2mm |
| 20" | 511.0±2mm | 497.0±2mm | 487.5±2mm |
| CMPP | 精度 | 端盖 | 直径 | 长度 | 密封圈 | 洁净度 | 包装方式 |
008 (0.8μm) 010 (1.0μm) 015 (1.5μm) 030 (3.0μm) 050 (5.0μm) 100 (10μm) 150 (15μm) | N（222 平头） F（双开口密封垫） | S（直径=69mm） | 10 (10") 20 (20") | P (EPDM) | E（Electronic） | D (干包装) W (超纯水预润湿包装) |
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