简要描述:Wet-Vast系列-半导体(PTFE)折叠过滤滤芯采用了PTFE滤膜搭配HDPE支撑材料。PTFE和HDPE材料均具有良好的化学兼容性,使其可以适合于多种药液的应用,能够有效地去除半导体工业用高纯度化学品中的微粒。
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Wet-Vast系列-半导体(PTFE)折叠过滤滤芯采用了PTFE滤膜搭配HDPE支撑材料。PTFE和HDPE材料均具有良好的化学兼容性,使其可以适合于多种药液的应用,能够有效地去除半导体工业用高纯度化学品中的微粒。Wet-Vast系列-半导体(PTFE)折叠过滤滤芯有多种精度和孔径的滤芯方案可供选择,以满足客户的要求。
湿刻蚀和清洗
适合是多种类的化学品过滤
高流速,低压差,更长使用寿命
便捷的预湿选项
100%滤芯完整性检测
材 料 | 滤膜 | PTFE |
支撑层,外壳 | HDPE | |
密封圈 | EPDM/TEV | |
精度 | 20nm, 30nm, 50nm, 0.1μm, 0.2μm | |
膜面积 | SX (φ68mm) | 1.2 m2/10" |
MX (φ81mm) | 1.8 m2/10" | |
MY (φ81mm) | 2.2 m2/10" | |
MZ (φ81mm) | 2.8 m2/10" | |
最大使用条件 | 最大正向压差 | 0.4 MPa (58 psi) @ 25℃ (77 °F) |
最大反向压差 | 0.3 MPa (43 psi) @ 25℃ (77 °F) | |
最高使用温度 | 40℃ (104 °F) | |
包装方式 | 干包装;超纯水预润湿包装 |