简要描述:产品描述CMPro-D系列 (PP)熔喷深层滤芯专为化学机械研磨(chemical mechanical polishing,CMP)过滤而设计。有效去除各种CMP slurry中的团聚颗粒或胶体,同时保留有效研磨颗粒,保持slurry粒径分布不变。
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CMPro-D系列 (PP)熔喷深层滤芯专为化学机械研磨(chemical mechanical polishing,CMP)过滤而设计。有效去除各种CMP slurry中的团聚颗粒或胶体,同时保留有效研磨颗粒,保持slurry粒径分布不变。CMPro-D系列 (PP)熔喷深层滤芯采用复合结构,制备出孔径渐变的深层聚丙烯滤材。滤材外层(upstream)由连续的熔喷滤材构成,有利于纳污容量,延长滤芯使用寿命以及有效降低成本。滤材内层(down-stream)由纳米纤维膜卷绕而成,提供杰出的过滤效率,确保可靠的过滤效果。
大梯度的分级结构设计,确保滤芯的过滤效率并使用寿命
超细纤维结构有效拦截造成划伤的大颗粒,同时保留所需研磨颗粒
更长的使用寿命有助于降低成本
纯PP材质,不使用表面活性剂和粘结剂,确保低析出
材 料 | 过滤层/支撑层 | 聚丙烯 |
中心杆/端盖 | 聚丙烯 | |
密封圈 | EPDM | |
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精度 | 70nm, 0.1μm, 0.2μm, 0.3μm, 0.5μm, 0.7μm, 1.0μm | |
尺寸规格 | 外径 | 69mm |
长度 | 10inch, 20inch | |
最大使用条件 | 最大正向压差 | 0.52 MPa (75 psi) @ 25 ˚C (77 ˚F) |
0.19 MPa (27 psi) @ 82 ˚C (179 ˚F) | ||
最大反向压差 | 0.21 MPa (30 psi) @ 25 ˚C (77 ˚F) | |
最高使用温度 | 80 ˚C (176 ˚F) | |
包装方式 | 干包装;超纯水预润湿包装 |